研削拋光机DGP8761

提高加工稳定性，实现更高的生产效率

通过背面研削到去除应力的一体化，可以稳定地实施厚度在25 μm以下的薄型化加工。搭载了新开发的主轴，适用于高速研削加工，有助于缩短薄型晶圆的加工时间。另外，优化了搬运部机构的布局，缩短了加工以外的作业時間。

第三主轴的多样化应用

作为薄晶圆加工的第3主轴可以有以下选择。

应力释放(Stress Relief)

有利于环保，不使用药液/水的「干式拋光加工」

CMP（特殊选项）

超精密研削加工（特殊选项）

Poligrind

UltraPoligrind