UV固化系统U-450，用于带框架的450毫米晶圆
这固化系统专为框架达 450 mm 的晶圆而设计。LED 产生 365 nm 的波长，大光功率输出为 800 mW。
打开盖子并将晶圆插入玻璃板上。合上盖子。曝光将立即开始。固化在大约 10-60 秒后完成，产生 50 到 180 个晶圆/小时的一致吞吐量。完全可调的暴露剂量范围在 80 mJ / cm²至1000 mJ / cm²之间。
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