PlasmaPro 100 Cobra

PlasmaPro 100系列刻蚀和沉积设备可安装多种衬底电，能够在很宽的温度范围内进行工艺，具有200mm单晶圆和多晶圆批处理能力，该工艺模块可提供具有高度均匀，高产量和高精度的工艺。

电的适用温度范围宽，-150°C至400°C

兼容200mm以下所有尺寸的晶圆

快速更换到不同尺寸的晶圆工艺

购置成本低且易于维护

紧密的设计，布局灵活

实时清洗和终点监测