Purion XE 系列高能离子注入机

我们的 Purion XE 系列离子注入机迅速赢得了行业标杆的美誉，适用于当今要求严苛的高能工艺。独特的射频直线加速器 (LINAC) 技术相比竞品平台具有更好的可靠性，更宽的能量范围，更高的产能，以及卓越的金属污染控制水平。

纯度

基于 RF LINAC 的离子束路径蕴含多重过滤技术，滤除了其它设计无法清除的杂质，实现了业界低的金属和颗粒物污染。

精度

专有型 VectorTM 控制系统独具特色地提供原位水平和垂直角度测量校正功能，使零度注入成为可能。

产能

依托我们的高速 Purion 基站和 RF LINAC 离子束路径，实现了高达 500 片/小时的产量，在广泛的能量范围内（40 千电子伏特至 15 兆电子伏特）提供业界大束流。