REAL RTP100型快速退火炉

产品简介：

REAL RTP100型快速退火炉是韩国ULTECH公司的一款4寸片快速退火炉，采用革新的加热技术，可实现真正的基底温度测量，不需要采用传统快速退火炉的温度补偿，温度控制精确，温度重复性高，客户包括国际上许多半导体公司及知名科研团队，是半导体制程退火工艺的理想选择。

技术特色：

- 真正的基片温度测量，无需传统的温度补偿

- 红外卤素管灯加热

- 其优异的加热温度精确性与均匀性

- 快速数字PID温度控制

- 不锈钢冷壁真空腔室

- 系统稳定性好

- 结构紧凑，小型桌面系统

- 带触摸屏的PC控制

- 兼容常压和真空环境，真空度标准值为5×10-3Torr，采用二级分子泵真空度低至5×10-6Torr

- 高达3路气体（MFC控制）

- 没有交叉污染，没有金属污染