桌面型匀胶机 BASIXX ST20+

产品简介

BASIXX ST20 +是一款桌面式匀胶机系统，性价比高，具有匀胶、清洗、显影和干燥等多种功能，样品大尺寸为8寸晶圆或者150mm*150mm方片，广泛用于大学，研究所等科研实验室。

产品特色

÷ 桌面版本的紧凑型设计

÷ 手动装载/卸载

÷ 衬底大可达 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 软件提供用户友好的操作

÷ 直驱旋涂电机

÷ 全轴电机驱动且完全可编程

÷ 带安全中断传感器的透明盖

÷ 可更换并易于拆卸的工艺腔和防溅环，方便清洁。

÷ 系统材料可抵抗所有类型的抗蚀剂和溶剂以及各种清洁介质。 (PP-聚丙烯)

÷ 包含 0.5 升废液瓶