Covap PVD 系列真空镀膜系统

Covap 是一款经济、安全、高集成度的真空镀膜系统。所集成的蒸发源各自独立并被防交叉污染挡板隔离开来。蒸镀腔室装有一套可拆卸式的腔室防污染隔离挡板，便于腔室的清洁和维护。当腔室被开启时，为了保护操作人员，蒸发源电源、工作气等将自动断开。系统可与手套箱进行集成也可独立使用。

产品细节：

• 在直径100mm 的wafer 上（边缘无效区为7mm）不均匀性优于±1.5%

• 基于PID 的并配有QCM 石英晶振探头的自动镀膜控制

• 操作数据可传至至PC

• 占地尺寸600x1000mm