Nexdep PVD 系列真空镀膜系统

紧凑，经济，功能齐全的PVD 主打型号。 节省空间，可实现多种形式的PVD 镀膜，包括热蒸发、电子束蒸发及磁控溅射。 样品台大尺寸直径6 英寸。

机柜尺寸：600mm x 1000mm

这个PVD 平台提供经济性和多功能性之间的平衡。 它可以配备强大的流程增强功能，而无需占用实验室或您的预算中的所有房间。

AERES 集成有控制软件

• 迄今为止顶级的软件控制平台

• 可通过PC/PLC 控制用于单片，批次或自动化镀膜的菜单编辑

• 先进的数据导出功能和工艺参数追踪功能可确保操作的可重复性和稳定性

• 高精度控制功能可实现在低蒸发速率时的稳定性和持续的掺杂比