多功能溅射、电子束和热蒸发沉积平台PRO Line PVD 200

Kurt J. Lesker Company PRO Line PVD 200 是一种模块化、功能齐全的薄膜沉积系统，可实现 8“ 晶圆传输、多达 8 个溅射阴和 eKLipse 高级控制软件。PVD 系列在全球有 500 多台设备在役，是一种经过验证、坚固且多功能的设计，由 PVD 75 和 200 平台组成。PRO Line PVD 200 在原始设计的成功基础上，改进了系统基础压力和抽空时间。技术卓越的腔室设计、具有高级编程能力的行业软件控制系统、自动基板加载以及优化薄膜性能的众多功能是这种创新、一流的设计提供的一些关键优势。®

PRO 系列 PVD 200 与以下技术兼容：

热蒸发（多六艘 4“ 单船）

TORUS 磁控溅射光源（多 2 个 3“ 或 <>” 光源）®

电子束蒸发源（4口袋8cc，8口袋12cc，6口袋20cc）

LTE10 有机沉积源（多两个）

上述技术的组合也可用。

可根据要求提供定制配置

KJLC的软件允许用户友好的配方创建以及可靠，不间断的处理模块，无论计算机用户界面的状态如何，都可以完成过程。