Microwriter ML3 小型台式无掩模光刻系统

MicroWriter ML3® 台式无掩模光刻系统是英国Durham 公司新推出的实验室用小型无掩模光刻系统。创新的设计使得尺寸只有700mm x 700mm 的系统可以加工大直径200mm 的样品，大分辨率高达0.6 μm。整套系统稳定可靠，无需安装，与控制电脑实现即插即用。为微流控、SAW、半导体、自旋电子学等领域的研究提供了一项方便、灵活、快捷的微加工手段。