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桌上型无掩膜光刻机 UMLA

发布日期:2026-02-12浏览次数:171

桌上型μMLA系统拥有我们先进的无掩膜激光直写技术,是所有需要微结构的研究单位和开发领域的完美入门工具,例如微流体学、微光学、传感器、微机电系统和材料科学等。μMLA具有前所未有的灵活性和可定制性,并且可支持使用毫米(millimeter)大小范围样品。


选择所需的曝光模式,甚至可以选配两种模式:光栅扫描光刻模块,快速曝光复杂的图型;向量光刻模块,创建光波导的平滑轮廓。此外,μMLA提供2种光学设置选择,具有不同的通量和可变分辨率范围。在您的光学设置内,软件可轻松切换三种配置,根据您的要求优化分辨率和速度。


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