多功能激光直写光刻机 DWL 66+

DWL 66+系统是一款经济实惠、高分辨率的激光直写光刻机，拥有多种选配功能，例如前后对位和激光波长可选择的405 nm或375 nm；进阶选配项目有绝对位置校准和自动加载系统。共有六种不同的执行模块可选用，其中包括分辨率为300 nm的高分辨率模块。值得关注的是DWL 66+在灰度光刻模块下呈现出卓越的性能，从标准到专业级别：此多功能技术用在低对比度的正型光阻厚膜工艺，可以创建复杂的2.5D微结构，例如微透镜、DOE、全息图和纹理表面。

DWL 66+的高度灵活和可定制的系统，可以根据您的应用特制，运用在生医工程、先进封装、微机电(MEMS)、微光学、半导体以及所有需要微结构领域中的必备光刻研究工具。