全自动激光退火设备 DSI-S-LA9200

主要特点：

1、整机模块化设计与集成，提供系统解决方案

2、退火面均匀性高，电学特性优秀

3、兼容4、6英寸薄片晶圆

4、激光分布均匀、能量稳定，配置监控与补偿系统

5、严格控制腔体含氧量和非退火面温度

6、高精度全自动EFEM传输模组

7、符合SEMI标准，支持SECS-GEM通信

应用范围：

对重掺杂碳化硅（SiC）表面沉积的过渡金属进行退火，形成良好的欧姆接触