PYRO-BENCH是韩国Ultech公司生产的一款桌面型LPCVD系统，该设备采用加热的方式在低压条件下使气态化合物在基片表面反应并沉积形成稳定固体薄膜，主要用于沉积Poly-Si、Si3N4 、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及难熔金属硅化物等多种薄膜。
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